本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16942-1997《電子工業(yè)用氣體 氫》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16942-1997相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氫的適用范圍(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T16942-1997 的第3章,本版的第3章);---修改電子工業(yè)用氫抽樣規(guī)則(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2);---修改電子工業(yè)用氫采樣要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的4.1.3);---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3);---修改總烴分析方法的檢測(cè)限(16942-1997的4.7,本版的4.5);---修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章);---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定電子工業(yè)用氫中的氮、一氧化碳、二氧化碳組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16942-1997。