本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全的內容。
本標準適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學氣相淀積、氮化硅化學氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質或同質硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質等，還可用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器等。
分子式：SiH_4。
相對分子質量：32.117（按2011年國際相對原子質量）。GB/T 15909-2017 代替GB/T 15909-2009 電子工業(yè)用氣體硅烷 Gas for electronic industry-Silane 2017-05-31發(fā) 布 2017-12-01實 施 妒 。？ ？ ＇J、 中 華 人 民 共 和 國 國 家 質 量 監(jiān) 督 檢 驗 檢 疫 總 局 任 ＋ 左 ／產(chǎn) 中 國 國 家 標 準 化 管 理 委 員 會 認 ” ’J ＼ 刮 涂 層 查 冀 飽 　 、 ‘ 、 、 一 ． ～ ～ 戶 一 ／ GB/T 15909-2017 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 一 前 　 　 　 　 　 　 西 　　本標準按照GB/T 1.1-2009給出的規(guī)則起草 。 　　本標準代替GB/T 15909-2009《 電子工業(yè)用氣體硅烷 》 。 與GB/T 15909-2009相比 ， 除編輯性 修改外