首頁(yè) > 標(biāo)準(zhǔn)下載>GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測(cè)定 酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法免費(fèi)下載
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本文件描述了用酸從多晶硅表面浸取金屬雜質(zhì)，并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測(cè)多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量的方法。 本文件適用于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅和電子級(jí)多晶硅表面堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅、鋁等雜質(zhì)元素含量的測(cè)定，測(cè)定范圍為0.01 ng/g。 替代GB/T 24582-2009
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