熱處理技術(shù)進(jìn)展
- 期刊名字:金屬熱處理
- 文件大?。?57kb
- 論文作者:樊東黎
- 作者單位:中國熱處理行業(yè)協(xié)會
- 更新時間:2020-10-30
- 下載次數(shù):次
綜述熱處理技術(shù)進(jìn)展樊東黎(中國熱處理行業(yè)協(xié)會北京100101 )摘要隨著機(jī)械產(chǎn)品市場的激烈競爭熱處理生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展神速。美國2020年熱處理技術(shù)發(fā)展路線圖的制定和實(shí)施更加速了這個進(jìn)程。作者從工藝設(shè)備、材料、傳感器、模型和軟件工具等5個方面論述了熱處理新技術(shù)發(fā)展近況,以引起國內(nèi)熱處理工作者的注意促進(jìn)我國熱處理行業(yè)十一. 五” 規(guī)劃的實(shí)現(xiàn)加速我國熱處理生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步。關(guān)鍵詞熱處理新技術(shù)進(jìn)展中圖分類號:T-19 TG15文獻(xiàn)標(biāo)識碼A文章編號0254-6051( 2007 )04-0001-14Progress of Heat Treatment Technologies .FAN Dong-li ( China Heat Treatment Association ,Beijing 100101 ,China )Abstract :Along with the sharp competition in machinery market ,the practical technology of heat treatment is developingvigorously. . The formulation and implementation of" US Heat Treating Technology Roadmap" accelerates this process. Theauthor describes a recent development status of heat treatment new technologies from processes ,equipments ,materials ,sensors moulds and software tools etc. five fields in order to bring to our heat treaters attention and promote to realize11”“five years plan" of our heat treating community and accelerate progress of our heat treating production technologies.Key words heat treatment ;new technology iprogress1新工藝作開發(fā)已商品化的Atmoplas滲碳技術(shù),該技術(shù)還可以1.1微波滲碳控制殘留奧氏體量和獲得細(xì)晶粒組織。用AISI8620美國Dana Corp公司( Toledo ,Ohio )于2004年宣鋼(相當(dāng)于20CrNiMo鋼)齒輪進(jìn)行的滲碳試驗(yàn)表明,告開創(chuàng)了Atmoplas 微波大氣等離子技術(shù)其特點(diǎn)是在Atmoplas滲碳的周期和滲層深度都比真空滲碳的效果大氣壓下可以引發(fā)和保持氣體的等離子狀態(tài)。等離子好(見表1)。體是一種被部分電離的氣體,它的最大特點(diǎn)在于對微Atmoplas滲碳工藝出奇地簡單。把工件裝入加工波的高吸收率(可吸收其能量的95% )和迅速達(dá)到很室的空腔中,往其中通入氬氣,用特殊方法激發(fā)等離.高的溫度。等離子體一旦被引發(fā)并在大氣壓力下保子溫度迅速升高。當(dāng)工件溫度達(dá)到930 C時往加工持就可以用Dana專有技術(shù)在數(shù)秒鐘內(nèi)使等離子溫度室的空腔中通入乙炔氣體。調(diào)節(jié)微波功率把溫度保持達(dá)到1200 C。將其用于熱處理與常規(guī)工藝相比可大在固定水準(zhǔn)。工件經(jīng)規(guī)定時間處理后施行淬火和回大縮短達(dá)到高溫的時間,可以通過適當(dāng)放置工件來控火。乙炔在等離子體內(nèi)易裂解,Atmoplas滲碳時用乙制等離子體厚度并由用戶來策劃熱流。炔作為供碳源。調(diào)整乙炔量、微波能量和維持等離子采用Atmoplas技術(shù)可使熱處理工藝實(shí)現(xiàn)更精確體的容器尺寸可使在-定體積內(nèi)的沉積碳量得到精確地控制加熱和達(dá)到更高溫度,從而縮短工藝周期和減控制。把滲碳溫度提高到980 C可進(jìn)一步加速滲碳。少能耗。用于鋼的滲碳時,工件表面硬度、表面碳濃該工藝的另一優(yōu)點(diǎn)是熱量約束在被加工工件周圍,系度、滲碳均勻度、殘留奧氏體量、顯微組織的一致性都統(tǒng)內(nèi)無需使用需要高度維護(hù)的加熱元件。Atmoplas 滲和傳統(tǒng)工藝相同或超過其相應(yīng)的力學(xué)性能(見圖1 )。碳工藝具有高度的靈活性(柔性)和可控性。Dana及其合作伙伴致力于開發(fā)微波大氣等離子加熱1.2 離子束表面改性技術(shù)的多項(xiàng)可投入實(shí)際應(yīng)用的項(xiàng)目其中之一就是和用脈沖離子束表面熱處理可以提高大面積零件或德國ALD Vacuum Technologies GmbH(漢諾威)公司合大批量小零件的表面性能。離子束表面熱處理是法國Sandia National Laboratories ,Albuquerque N. M.的專利作者簡介樊東黎( 1934. 04- - )男,山西定襄人教授級高工,技術(shù)被中國煤化工其實(shí)質(zhì)是以高速脈動中國熱處理行業(yè)協(xié)會前副理事長,中國熱處理學(xué)會榮譽(yù)理事離子束CN M H a層幾個微米厚度內(nèi)實(shí)長北京機(jī)械工程學(xué)會熱處理分會榮譽(yù)理事長,全國熱處理標(biāo)現(xiàn)快速熔化札凝固,以提局具村磨性和耐腐蝕能力,改準(zhǔn)化技術(shù)委員會顧問,本刊編委會副主任委員。聯(lián)系電話:善金屬制件表面狀態(tài)和外觀提高表面純潔度、均勻性010-629 13079和整體連續(xù)性。其優(yōu)點(diǎn)是不改變金屬表面化學(xué)成分,收稿日期2006-12-20《金屬熱處理》2007年第32卷第4期滲層/mm0300.60_ 090121.50.180e005 0.30 0.60 090 120 1.50 180660580一的女。一齒齒項(xiàng)面足60只500剛420的42.0--節(jié)圓面思34.034.0-節(jié)線260向)滲層in滲層/in圖1 AISI 8620鋼齒輪普通氣體滲碳( 930 C x272 min )結(jié)果( a )和Atmoplas滲碳212 min )結(jié)果( b )的比較Fig.1 Comparison of case depth and uniformity and hardness profile of AISI 8620 steel gear for conventional gas-carburizedwith a total carburizing time of 272 min( a ) and Atmoplas microwave carburized gear with a total carburizing time of 212 min( b)表1 AISI 8620鋼滲碳結(jié)果比較Table 1 Characteristics of carburizing methods for processing AISI 8620 alloy steel工藝傳統(tǒng)氣體滲碳真空滲碳.Atmoplas 滲碳總滲碳時間142min強(qiáng)滲+110min擴(kuò)散+20min降溫滲碳段時間205 min112min強(qiáng)滲+80min擴(kuò)散+20min降溫有效滲層深度~0.9 mm~1.14 mm顯微組織(殘留奧氏體和延伸深度)尖角顯微組織15vol% ~ 30vol% ,~0. 319 mm10vol% ~ 15vol% ,~0. 172 mm5vol% ~ 20vol% ,~0. 172mm .齒面顯微組織10vol% ~ 20vol% ,~0. 119mm5vol% ~ 15vol% ,~0. 243 mm5vol% ~ 20vol% ,~0. 148 mmASTM E112- -1996 晶粒等級比較法)滲層8~10( 22.5-11.2 μm )8-9(22. 5-15.9 μm)10-12(11.2-5.6μm)心部.8~9( 22.5~15.9 μm)9~10( 15.9~11.2 μm )10~12( 11.2~5.6 μm)尺寸無明顯變化,不需化學(xué)用劑,也不會產(chǎn)生有害氣CrWMn )I具鋼表面用2%硝酸酒精腐蝕未出現(xiàn)任何體。與光源系統(tǒng)比較快速脈動離子束技術(shù)在進(jìn)入工組織特征用電子顯微鏡觀察到鋼的強(qiáng)化層內(nèi)有< 100件表面能量耦合特點(diǎn)上具有以下優(yōu)點(diǎn):①能量在一定nm的等軸晶粒硬度為900HK銷釘圓盤磨耗的耐磨深度快速集聚形成陡峭熱陣,使 此層熔化后,隨之快性提高200% AISI H13鋼切邊模壽命提高10倍AISI速冷卻②從電源(插頭)到金屬表面的能量轉(zhuǎn)換率為M2( W6Mo5Cr4V2高速鋼)切刀壽命明顯增加硬質(zhì)合10%③與金屬表面的光學(xué)性質(zhì)無關(guān)進(jìn)入金屬表面的金軋輥和鉆探鉆頭壽命提高500%。能量耦合率是100%。脈沖周期小于1 μs,采用任何1.3 強(qiáng)烈淬火技術(shù)氣體的平均功率都在1~10kW,而離子能量范圍為烏克蘭科學(xué)院工程熱物理研究所的H. H.柯巴斯0.1~1MeV。在102Pa的真空室內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)有效的科院士在1992年研發(fā)出- -種鋼的淬火新技術(shù)雖然冷離子束傳輸每個脈沖的離子數(shù)約在10'2 ~ 10"*/cm2。速極大_但可避免鋼件開裂,減少畸變顯著提高鋼材進(jìn)入工件表面的熱能迅速逸散到整個工件造成工件力學(xué)性中國煤化工。的溫度上升可忽略不計,因而工件熱畸變很小。例如強(qiáng)| YHC N M H G以Intensi-Quench服務(wù)在小于1μs內(nèi)可使3μum表面層熔化,在20μs內(nèi)工商標(biāo)注冊了IQ Technologies Inc. ,Akron. Ohio公司。件整體的溫升不超過100 C。近幾年進(jìn)行了數(shù)百次強(qiáng)烈淬火技術(shù)的可行性試驗(yàn)這經(jīng)離子束表面改性處理后,AISI 01(相當(dāng)于些試驗(yàn)是在美國能源部的資助下,由愛迪生材料技術(shù)《金屬熱處理》2007年第32卷第4期中心組織數(shù)家私人企業(yè)參加。AFC-Holeroft ,Wixom ,內(nèi)部實(shí)現(xiàn)均勻滲碳此技術(shù)被命名和注冊為AvaC。Mich.公司于2002年設(shè)計建造了42 m3容積的IQ淬火低壓滲碳就是真空滲碳( low-pressure-carburi-槽安裝在Euclid Heat Treating Co. ,Cleveland。 強(qiáng)烈zing)經(jīng)常被縮寫為LPC ,在工業(yè)中應(yīng)用已有近30年淬火技術(shù)已列入美國熱處理2020年技術(shù)發(fā)展路線圖歷史但滲碳一直多用丙烷。用丙烷滲碳的問題在于( Roadmap )的重點(diǎn)推廣項(xiàng)目中。600 C以上丙烷裂解為C、H和CH甚至不需要任何在強(qiáng)烈淬火條件下,馬氏體轉(zhuǎn)變區(qū)的冷速大于催化劑造成在熱的爐膛內(nèi)圍繞爐料空間形成炭黑而30 °C/s時鋼件表面層過冷奧氏體受到1200 MPa的在爐內(nèi)殼壁和真空泵管路中沉積焦油。采用丙烷脈沖壓應(yīng)力使淬火鋼的屈服強(qiáng)度至少提高25%。根據(jù)供氣和用噴嘴提高丙烷供氣速度只能稍微改善其供氣淬火過程的非穩(wěn)態(tài)熱傳導(dǎo)和相變熱過程數(shù)學(xué)模型以的均勻性而不能徹底解決問題。甲烷在低壓下極難及在合理邊界條件下的彈塑性變形規(guī)律,用有限元分解(見圖2 )故低壓滲碳時很少用甲烷,僅在低壓離法計算的結(jié)果是鋼件表層的殘余拉應(yīng)力隨冷速的增子滲碳時情況才有改善。加逐步達(dá)到極大值然后迅速降低,直到轉(zhuǎn)化為壓應(yīng)50t力。此時產(chǎn)生淬火裂紋的幾率極小零件的畸變也隨之減小。ξ 100在馬氏體轉(zhuǎn)變范圍( Ms-→Mf )內(nèi)的強(qiáng)烈冷卻可改善材料塑性提高材料強(qiáng)度。強(qiáng)烈淬火后的零件在交相變載荷下的使用壽命幾乎能提高一個數(shù)量級。Y7A(T7A)鋼經(jīng)冷速大于30C/s的強(qiáng)烈淬火后屈服強(qiáng)度可提高25% 60C2( 60Si2 )鋼提高28%。這些鋼的油淬試樣是脆性斷口,而強(qiáng)烈淬火試樣是韌性斷口。圖216MnCr5 鋼在1000 C、1000 Pa氣氛中經(jīng)10 min低壓滲碳后的碳通量1.4磨削加熱淬火Fig. 2 Carbon flux values after low pressure carburizing of德國《淬火技術(shù)通訊》( Harterei-Technik Mitteilun-16MnGr5 steel with various hydrocarbon gases forgen ,Mar-Apr. 1999 )發(fā)表了有關(guān)磨削淬火技術(shù)開發(fā)的10 minat 1000 °C( 1000 Pa)文章。這是戴姆勒-克萊斯勒空間技術(shù)中心和不來梅為了證明乙炔低壓滲碳在盲孔中的均勻性,使用材料技術(shù)研究所合作研究的成果。鋼件在一定規(guī)范下了如圖3a所示的16MnCr5鋼帶盲孔試樣在乙炔、丙磨削靠磨削把鋼件表面加熱到適當(dāng)溫度然后靠其余烷和乙烯氣氛中于900C滲10min后淬火沿試樣盲未加熱部分的熱傳導(dǎo)冷卻使表面金屬變成馬氏體而得孔深度的硬度分布見圖3b。由此可看出,乙炔低壓滲到強(qiáng)化。此技術(shù)有可能代替感應(yīng)和激光淬火有可能碳的絕對優(yōu)勢。把一項(xiàng)整體熱處理過程轉(zhuǎn)化為加工生產(chǎn)線上的一道工00_序節(jié)能效果也非常明顯??上驳氖莿⒕諙|、王貴成等人也在從事類似的研究他們以平面磨削淬硬試驗(yàn)為a)629基礎(chǔ)研究了在不同砂輪特性條件下40Cr鋼磨削淬900硬層的組織和性能。其結(jié)論是在磨削淬硬加工中的800CH熱、力耦合作用下砂輪特性對磨削淬硬層的馬氏體組7002器織形貌和高硬度區(qū)的硬度值沒有明顯影響;:隨著砂輪的600t= 10minc.HAEH,粒度或砂輪硬度的提高磨削淬硬層深度相應(yīng)增加;與500樹脂粘合劑砂輪比較用陶瓷粘合劑砂輪可使淬硬層400深度增加近40%。期待著這種技術(shù)在工業(yè)中的實(shí)際30020340050060089100應(yīng)用。.沿盲孔深度/mm1.5乙炔低壓滲碳圖3中國煤化工(a)和經(jīng)900cx10min.Ipsen公司于20世紀(jì)中期開發(fā)出用乙炔氣體低壓FYHCNMHG的硬度分布(b)Fig.3~ Scheme of blind hole sample 16MnGr5 steel( a ) and滲碳技術(shù),以B.Edenhofer等人名義在世界范圍內(nèi)申請the surface hardness( HV ) in the blind hole along了專利。其最大優(yōu)點(diǎn)是使小通孔和盲孔油泵噴油嘴)its length after carburizing( 10 min at 900 C )內(nèi)都可以滲.上碳也可以使?jié)B碳?xì)怏w順利深入成批零件with various hydrocarbon gases( b)《金屬熱處理》2007年第32卷第4期31.6 環(huán)己烯滲碳采用砂型鑄造、鍶變質(zhì)處理的A356鋁合金(質(zhì)量美國Surface Combustion公司早在1970年就熱衷分?jǐn)?shù)為7. 08% Si、 0.37% Mg、0.06% Fe、0.158% Ti、于真空滲碳技術(shù)并最早注意到該工藝的局限性把精0.012%Sr、分別為0.005%的Cu、Mn、Ni和Zn、其余力放在離子滲碳上。后者雖具有真空滲碳的一系列優(yōu)Al)經(jīng)HIP+T6(固溶+時效)處理后,在193MPa應(yīng)點(diǎn),可以解決諸如炭黑等問題但由于生產(chǎn)成本問題一力狀態(tài)'下的10疲勞周次尚未破斷而鑄態(tài)+16處理直未能廣泛應(yīng)用。該公司擁有多項(xiàng)真空滲碳和離子滲者在10%周次即斷裂。碳工藝和產(chǎn)品的專利技術(shù)。自從早期推行這兩項(xiàng)工2新設(shè)備藝Surface公司積極參與了真空多室爐設(shè)備的市場活2.1低壓滲 碳雙室高壓氣淬爐動售出了45臺以上的多室真空爐。真空加熱高壓氣淬設(shè)備的問世是熱處理技術(shù)一大環(huán)己烯( C6H2 )是一種非常穩(wěn)定的高純度、高密進(jìn)步。高壓氣淬冷卻均勻、工件畸變小、2 MPa以上的度的液體Surface公司將其用于真空滲碳的技術(shù)被稱He、H,能達(dá)到靜止油的冷速(見表2 ),工件氣冷可省做VringCarb。環(huán)己烯作為-種飽和的碳?xì)浠衔?去清洗工序一方面提高效率、另-方面與環(huán)境和諧。其使用費(fèi)用很低。采用-種可精確控制的液體噴射系早期的真空高壓氣淬爐和低壓滲碳?xì)獯銧t都是單室統(tǒng)可將其通入爐內(nèi)真空度保持1330 Pa ,在此條件下爐加熱和冷卻都在同- -空間進(jìn)行冷速相對低。雙室未發(fā)現(xiàn)有炭黑。據(jù)報道此技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是工件十分干氣淬爐的開發(fā)對于提高冷速效果明顯。生產(chǎn)實(shí)踐中凈,可避免晶界氧化,齒根硬度可達(dá)到節(jié)圓齒面硬度的冷室淬火(雙室爐)比熱室淬火(單室爐)有提高冷速90%以上滲劑用量很低滲層均勻工件畸變小,可提40%的數(shù)據(jù)。圖5為Ipsen公司開發(fā)的雙室高壓氣淬高滲碳溫度。適用于1200 mm(長)x900 mm(寬)x爐圖6為真空雙室爐的冷卻室結(jié)構(gòu)。真空雙室爐氣900 mn(高)的燃?xì)饣螂姞t既可用油淬也可在2 MPa .淬時,可用0.1~2MPa的N2或He為提高冷速尚需高壓氣體中淬冷。采用高速噴嘴使氣流速度由通常風(fēng)扇吹動的10 ~201.7混合氣氛低壓滲碳m/s提高到100~ 150 m/s。此時的傳熱系數(shù)可達(dá)到Seco/ Warwick公司開發(fā)的用乙烯( C2H )+乙炔1000 ~3000 W/( m2. K)。( C2H2 )+氫混合氣的低壓滲碳法。爐中壓力130 ~表2各種冷卻方式平均傳 熱系數(shù)的比較4000 Pa。滲劑用量小滲層均勻。當(dāng)滲層深度<1.0Table 2 Comparison of mean heat transfer coefficientsmm時層深偏差為+0.1 mm滲層深度<2.0 mm時傳熱系數(shù)c/W. m2. K-'液態(tài)介質(zhì)氣體層深偏差為+0. 15 mm。生產(chǎn)成本明顯降低。500熔鹽N2( 1 MPa)1.8鋁合 金的熱等靜壓固溶時效復(fù)合處理1000油(不攪動)He( 2 MPa)2000油攪動)H2( 4 MPa)Bodycote公司正在探索以熱等靜壓(hotisostaticH2( 10 MPa)pressing ,HIP )和固溶復(fù)合處理消除鋁合金鑄件孔隙和)P縮短工藝周期,降低生產(chǎn)成本,同時提高鑄件的力學(xué)性能。此工藝被稱為Bodycotes Densal Process( 見圖4)。HIP固溶處理(a咒時間HIP+固溶復(fù)合處理一燙做圖5 Ipsen RVTC雙室高壓氣淬真空熱處理爐Fig. 5 Ipsen RVTC double chambers vacuum carburizing furnace(b中國煤化工quenching圖4傳統(tǒng)的 HIP +T6處理工藝( a)和HIP+T6復(fù)合處理工藝( b)HCNMH G除真空加熱雙室高壓氣淬爐外,Ipsen 公司已開發(fā)Fig. 4 Temperature-time profiles for conventional discrete HIP了在普通氣體滲碳密封多用爐上采用高壓氣淬的and T6 heat treatment processes( a)and a combined HIP + T6 proces( b)TQG系列設(shè)備其結(jié)構(gòu)示意圖見圖7。4《金屬熱處理》2007年第32卷第4期.油淬重氣淬耋(公..圖6 Ipsen 真空雙室高壓氣淬爐冷卻室結(jié)構(gòu)圖8FRVOQ(PC)(FV)型低壓離子滲碳爐Fig. 6 Quench chamber for one layer batches andFig. 8 Three chamber low-pressure ion carburizing furnacemultiple layer batches quenching modes友好等優(yōu)勢,低壓滲碳高壓氣淬技術(shù)有迅速發(fā)展的趨勢。過去不少人認(rèn)為汽車工業(yè)滲碳淬火件批量大低壓滲碳設(shè)備難以滿足如此大的生產(chǎn)要求。當(dāng)前歐洲熱處理設(shè)備制造帶頭企業(yè)ALD、ECM、Ipsen等已開發(fā)出-系列連續(xù)式、半連續(xù)式低壓滲碳、高壓氣淬生產(chǎn)線。最有代表性的是類似于普通氣體滲碳多用爐生產(chǎn)線的鏈接式生產(chǎn)線(見圖9 )。圖9所示的一字排開的是沒有前室的密封低壓滲碳爐在軌道上行走的是公用高壓氣淬設(shè)施。值得重視的最新改進(jìn)是在軌道上行走的圖7 Ipsen TQG密封滲碳高壓氣淬爐是用來裝卸料、轉(zhuǎn)移爐料并使其保持溫度的裝置。高Fig. 7 Atmosphere batch furmace type TQG壓氣淬設(shè)備固定并列在滲碳爐旁。如此就可以不用移2.3帶柔性淬火系統(tǒng)的低壓離子滲碳爐動小車.上的大量和笨重的軟管和電纜簡化了結(jié)構(gòu)、提Ipsen公司于1997 年生產(chǎn)在法國Nitruvid Argen-高了設(shè)備的可靠性。teull公司使用的FRV0Q( PC)( FV )型三室低壓離子滲碳和高壓氣淬爐,見圖8。用這種爐子不僅可以施行低壓離子滲碳、氣冷、油淬;還可以施行等離子碳氮共滲低溫、高溫等離子滲氮工具鋼、馬氏體不銹鋼的高濃度滲碳( over carburizing )以及所有在真空條件下于500 ~ 1300 C的各種熱處理。氣淬壓力可達(dá)0. 6MPa油槽溫度最高90 C氣體溫度最高40 C。其特點(diǎn)之-是具有柔性特征表現(xiàn)在可選擇油淬或氣冷在爐內(nèi)實(shí)現(xiàn)兩個方向的爐料輸送;兩個冷卻室之一如果圖9ALD公司ModulTherm型鏈接式多室低壓無須淬火就可以做為進(jìn)料室;爐子結(jié)構(gòu)可保證在移動滲碳高壓氣淬生產(chǎn)線外觀爐料時加熱室仍可保持高溫爐料在爐內(nèi)按規(guī)定程序Fig.9 Linked multi-chamber furmace type Modul Therm移動可提高生產(chǎn)效率。2.5貝 氏體等溫、馬氏體分級淬火生產(chǎn)線用計算機(jī)檢測調(diào)節(jié)系統(tǒng)可保證設(shè)備的可靠性。氣圖10所示為Ipsen公司帶集成式鹽浴等溫和分淬時采取鼓風(fēng)和噴射混合系統(tǒng),用壓力和質(zhì)量流控制級淬火槽的TQA型滲碳或奧氏體化加熱淬火連續(xù)生器( mass flow controller )進(jìn)行控制。用一個Ipsen PCD產(chǎn)線。這種主要用于貝氏體等溫淬火的爐子,由于貝傳感器適時監(jiān)督等離子過程,并調(diào)節(jié)滲碳?xì)怏w流量。氏體轉(zhuǎn)變時間比奧氏體化加熱時間長得多故經(jīng)常在通過16NC6鋼3個月生產(chǎn)試驗(yàn),證明采用工件表面質(zhì)鹽浴淬中國煤化工續(xù)等溫的貝氏體轉(zhuǎn)變量流的成功控制出色地保證了熱處理效果的重現(xiàn)性。爐。例|YHCNMHGr15鋼)的貝氏體淬火2.4低壓滲 碳高壓氣淬鏈接式生產(chǎn)線等溫需要延續(xù)45min首先在鹽浴中冷到230C其余自從真空滲碳解決了爐內(nèi)沉積炭黑的難題以后,時間在230 C的對流空氣爐中完成貝氏體轉(zhuǎn)變。在汽由于氣氛消耗少、工件畸變小滲層無內(nèi)氧化和對環(huán)境車工業(yè)中奧貝球鐵( ADI )應(yīng)用愈來愈廣其主要的熱《金屬熱處理》2007年第32卷第4期5處理工藝是等溫淬火。由于汽車零件的批量很大,這淬火室打井.淬火室關(guān)閉種設(shè)備很適合于奧貝球鐵件的熱處理。估計有較大的_爐門↑皿發(fā)展前途。圖11輥底爐涌 泉式淬火槽結(jié)構(gòu)示意用同一團(tuán)。用Fig. 11 Scheme of the spring flood quenching tank forroller hearth furnace升降機(jī)拖動淬火劑溢出T中T圖10 Ipsen TQA型鹽浴等溫、分級淬火生產(chǎn)線工件往復(fù)Fig.10 Scheme of the sealed quench furmace TQA8088808880b @with integrated salt-bath for martempering or austempering( with added air transformation furmace )2.6涌泉式淬火槽↓↑↓↑↑↓↓散裝料批量生產(chǎn)的鉻鋼軸承套圈的奧氏體化加熱液流脈動淬火通常都在連續(xù)式爐中進(jìn)行。為減少套圈的淬火畸圖12涌泉式淬 火槽中的工件、輥道和淬火劑的相對運(yùn)動變Aichelin公司在1990年把滾棒式爐中的淬火油槽Fig. 12 Relative motion between parts ,poller and quenchantin spring flood quenching tank改為可實(shí)現(xiàn)油中涌泉式淬火( Spring Flood Quenching )結(jié)構(gòu)(見圖11)。加熱后的套圈用輥道送到淬火槽上4mm淬火畸變能控制在0.05~O.06mm范圍內(nèi)。時槽上蓋落下把工件罩住靠螺旋漿的強(qiáng)力攪動使2.7推桿連續(xù)式滲碳淬火生產(chǎn)線淬火油上下往復(fù)循環(huán)勢如泉涌,同時淬火槽輥道上的Aichelin公司在推桿連續(xù)滲碳淬火生產(chǎn)線上采取套圈也作左右往復(fù)移動(圖12 ) ,如此可獲得均勻冷了一系列革新提高了滲速,改善了滲層顯微組織,加.卻,把工件的畸變控制到最小的程度。φ80 ~ φ100強(qiáng)了密封節(jié)省了氣氛各區(qū)相對獨(dú)立,避免了相互干mm的SAE52100鋼(相當(dāng)于GGr15鋼)軸承環(huán)壁厚擾提高了爐氣控制的精確度(見圖13 )。雙推盤式爐滲碳擴(kuò)敝爐預(yù)氧化校+500大高溫擴(kuò)徽區(qū)STKE-6/56/70-2X16-960CN強(qiáng)津區(qū)TKE-56/56/70-4-660CNExIX迷備料臺riaiuinaininini'st國Lhiiui和推盤式淬火海溫爐KEs-56/56/70-6-900CN推盤式爐加熱爐\底裝料升隆臺淬火油槽THE-6/56/70-4-960CNTYC-5656/70-2CN權(quán)H圖國XX風(fēng)冷臺升障臺上卸料輯道臺推盤式回火爐DHE-6676770-6- 460CN中國煤化工。三工位后清洗機(jī)ETE-665670-3CN25720YHCNMHG圖13雙推 盤氣體滲碳爐生產(chǎn)線Fig.13 Double pusher gas carburizing production line6《金屬熱處理》2007年第32卷第4期(1)預(yù)氧化爐工件和料盤在預(yù)氧化爐的空氣介質(zhì)中加熱到500 ~550 C工件表面預(yù)氧化可提高滲層口均勻度減輕滲層組織中的內(nèi)氧化現(xiàn)象,還可提高滲JD00速。(2)加熱爐的底上料裝置該裝置為Aichelin公司的專利技術(shù)。進(jìn)料口設(shè)在加熱爐一端后部(見圖14)裝工件的料盤從側(cè)面推到料臺上其上有柔性加多壓密封門料盤就位后底部密封門加壓,即完成.上料。00005|此結(jié)構(gòu)密封性好爐氣損失小,碳勢變化小,不易積炭AMalQuanching黑無需火簾節(jié)約能源不污染環(huán)境。提升餷輪隔熱中門傳動墨統(tǒng)圖15 環(huán)形爐滲碳生產(chǎn)線Fig.15 Rotary carburizing production line電動推枉3新材料3.1生態(tài)淬火劑當(dāng)前常用淬火劑是水、鹽水、熔鹽、冷熱礦物油和聚合物溶液。HoughtonDurferrite公司預(yù)見到明天的重理想液態(tài)淬火劑是生態(tài)淬火劑( Bio-Quenchant )。所謂生態(tài)淬火劑就是以植物油為基加入添加劑的天然淬升歸臺圖14底部裝料裝 置原理圖火油。圖16為Houghton公司測試的植物油和礦物油Fig. 14 Scheme of the bottom loading device的淬火冷卻性能曲線。由圖16可見植物油的最大冷(3)潛泳底出料淬火油槽油槽完全密封 工件速向高溫移動幾乎沒有蒸氣膜階段,最大冷速高、最在氣氛保護(hù)下淬火油攪拌器使油在導(dǎo)流系統(tǒng)中垂直流低冷速小。故植物油冷卻均勻,工件畸變小是必然結(jié)動工件冷卻畸變小。工件和料盤冷透后在油槽下用果。用提高抗氧化能力的套藥(添加劑)可以把植物橫推裝置潛泳至出料口升降臺上升至出料口淋油后油的工作溫度提高到較高程度而不影響其最大冷速,運(yùn)至槽外。出口無火簾,氣氛不逸出對環(huán)境無污染。而低溫冷速也很小幾近沒有變化(見圖17)。在專營(4 )各爐區(qū)隔離,氣氛相互不干擾 加熱、強(qiáng)滲、熱處理加工廠的密封多用爐中使用生態(tài)淬火劑兩年擴(kuò)散、淬火各區(qū)隔離不連通,可分區(qū)單獨(dú)控制爐氣碳勢半被處理的鋼材有油淬工具鋼、合金滲碳鋼和低、中和溫度使控制更加精確,以保證產(chǎn)品質(zhì)量和質(zhì)量的分碳素鋼工件截面尺寸為0.4~ 100 mm油溫60~ 105散度。C。據(jù)用戶報告,處理后的工件硬度、力學(xué)性能、尺寸( 5 )高溫風(fēng)扇的油自冷循環(huán)系統(tǒng)利用 熱油、冷穩(wěn)定性和表面狀態(tài)都合格。用52100鋼(相當(dāng)于油密度的差別和熱油上升、冷油下降原理設(shè)計了爐內(nèi)GCr15鋼)軸承套圈在美國某一軸承廠 的連續(xù)淬火爐中風(fēng)扇用油自冷的循環(huán)系統(tǒng),該技術(shù)為Aichelin 公司的冷卻邁度PCs-'專利。.90400_ 1202.8環(huán)形滲碳淬火生產(chǎn)線700冷卻遽度為了減少占地面積提高爐子密封性延長料盤壽命,Aichelin公司研發(fā)了-種環(huán)形滲碳淬火生產(chǎn)線(見然500>植物油圖15 )。 生產(chǎn)線由備料臺、預(yù)氧化爐、底裝料設(shè)施、環(huán)冷卻時間300形爐、淬火槽、清洗機(jī)、回火爐、配電控制柜等部分組成。環(huán)形爐內(nèi)各區(qū)用可升降的門分隔轉(zhuǎn)動部分用油中國煤化工-本十5封工件和料盤隨爐底轉(zhuǎn)動,避免了推盤、爐料盤的相MHCNMHGIs互碰撞和與爐底的摩擦,從而延長其使用壽命。爐區(qū)圖16生態(tài)件火油和晉遇中速冶火油在60C的冷卻性能比較Fig.16 Comparison of the cooling characteristic between的相互隔離入爐的底裝料環(huán)形爐進(jìn)出料只用-個爐bio-quench oil and conventional middle speed門保證了爐子的密封性和碳勢控制的精確性。quench oil at 60 C《金屬熱處理》2007年第32卷第4期冷卻速度/C.s-1T.Liu領(lǐng)導(dǎo)的課題組發(fā)現(xiàn)在Ni;Al化合物中添加微量10900-硼可明顯改善其塑性,該材料的主要化學(xué)成分(質(zhì)量分?jǐn)?shù)% )為8~11A1、81 ~88Ni ,并添加了Cr. Zr、Mo700-”冷卻速度和B改進(jìn)后的材料具有出色的熱強(qiáng)性、抗蠕變、抗?jié)B刨500碳能力。Delphi-Saginaw Steering Systems公司通過和175C能源部的研發(fā)協(xié)議在11臺推桿式滲碳爐中把耐熱鋼3006oCV冷卻時間料盤、料筐、夾具都改成用Ni,Al材料隨后還打算用100-5→12535來制造輻射管和風(fēng)扇。初步試驗(yàn)結(jié)果表明Ni,Al構(gòu)件圖17油槽溫度( 60~175心)對生態(tài)淬火油冷卻性能的影響壽命比耐熱鋼高一倍以上。預(yù)計加熱爐內(nèi)的所有耐熱Fig. 17 Influence of the quench oil temperature on合金鑄件都可用Nij,AI代替。采用Ni; Al構(gòu)件還可以cooling characteristics of bio-quench oil減少爐子維修次數(shù)、縮短工藝周期、提高熱處理工件壽進(jìn)行了一組試驗(yàn)持續(xù)進(jìn)行了12個月的生產(chǎn)。與此同命、提高滲碳溫度、節(jié)能效果顯著。時還對120C的生態(tài)油和普通淬火油的冷卻性能作3.3APM和APMT合金了對比測試其結(jié)果見圖18。用植物油淬過火的零件瑞典Kanthal A. B.的Sadvik公司繼Kanthal Al 電硬度、尺寸穩(wěn)定性、橢圓度和普通淬火油都沒有區(qū)別,熱絲之后相繼開發(fā)出APM和APMT合金。此種材料而錐形零件的橢圓度卻比普通淬火油的小得多。植物是用A-1粉末通過熱等靜壓、燒結(jié)和深拉延出來的。油閃點(diǎn)高熱油淬火安全且油的工件帶出損失比普通用AT1合金制造的電熱和燃?xì)廨椛涔鼙纫话隳蜔岷洗慊鹩蜕?0%。在另外幾家熱處理廠進(jìn)行了6個月金能經(jīng)受雙倍的熱流在925 C能經(jīng)受的熱流達(dá)9 ~以上的生產(chǎn)試驗(yàn)在一臺密封淬火爐中于70C冷油和10 kJ/m2。用Kanthal APM Fe-Cr-Al 合金制造的輻射230 C的熱油中淬火,也取得了成功的結(jié)果。管在1150 C使用1000 h后表面狀態(tài)良好表面形成冷卻速度/C.s-的Al2O3具有保護(hù)作用;而Ni-Cr合金管在1150 C使900.2600100用1000 h后,表面損壞嚴(yán)重。Kanthal APM合金可延700冷卻速廑長壽命4倍。表3為Kanthal A. B.公司提供的KanthalAPM合金管尺寸。表4為電熱材料在各種氣氛中允500檀物油許的最高溫度。各種合金在不同溫度下的滲碳速度示冷卻時間于圖19。普通分級淬火熱油表3 Kanthal APM合尺寸下25Table 3 Size of Kanthal APM allog tube冷卻時間/s圖18生態(tài)淬火油和普通淬火油120C時的冷卻性能比較D外D內(nèi)/mm 220 203 164 ,152 100 9064 56 28 ,18Fig. 18 Comparison of cooling characteristics for conventional質(zhì)量/kg: m40. 1021. 2010.605.400.95quench oil and bio-quench oil at 120 C( 1 ) Kanthal SUPER ER高溫發(fā)熱體SUPER ER據(jù)介紹,使用植物油淬火的優(yōu)點(diǎn)還有很多。首先綜合了MoSi,的優(yōu)異高溫性能和AI203的氧化穩(wěn)定優(yōu)植物油容易生物降解,降解率可達(dá)75%以上,歐洲有越性,可用于多種氣氛加熱爐。Md( SiAl )2復(fù)合發(fā)熱體降解80%~100%的試驗(yàn)數(shù)據(jù),而礦物油只能降解可用于氧化性、惰性、吸熱式氣氛和還原性氣氛特別10% ~40%。植物油的沸點(diǎn)和閃點(diǎn)都比礦物油高油適用于干燥氫和氮-氫氣氛中的燒結(jié)過程。例如鐵淦煙毒性很小還是可再生能源能源源不斷地得到供氧體在氫保護(hù)條件下的燒結(jié)和其它陶瓷材料的燒結(jié)。應(yīng)不易水解、抗氧化能力強(qiáng)、低溫粘度低、粘度范圍( 2 ) Kanthal GLOBAR SDA發(fā)熱體GLOBAR窄。目前植物油價格比礦油雖貴- -倍 ,但使用壽命長SDA新型碳化硅發(fā)熱體可延長熔鋁反射爐壽命抵抗工件淬火質(zhì)量好對環(huán)境相對友好,在一定程度上可得鋁和雜質(zhì)的化學(xué)腐蝕,使?fàn)t子壽命延長25% ~ 100%。到補(bǔ)償。主要通中國煤化工熱體性能和延長壽命:3.2 Ni,AI 金屬間化合物首先發(fā)Y片CNMHG晶減少表面氧化的材NizAl金屬間化合物是一種新型爐內(nèi)抗?jié)B碳耐熱料其次使用復(fù)合硅石A釉以減少整體表面的氧化,構(gòu)件材料問世已有20多年,因?yàn)槠浯嘈源笪吹玫綄?shí)并使用堿金屬以提高其氧化物熔點(diǎn)。該元件對水蒸氣際應(yīng)用。美國能源部OakRidge國家實(shí)驗(yàn)室由Chain和堿的侵蝕有較高的抗力。《金屬熱處理》2007年第32卷第4期.表4各種電熱材料在不同 氣氛中允許的最高溫度( C)Table 4 Allowing maximum temperature of various electro-heating materials at different atmospheres( C )Kanthal AlNikrothal 80工作環(huán)境和APMKanthal AFKanthal D和Nikrothal 70Nikrothal 60Nikrothal 40氧化干燥空氣1400①13001200! 1501100氣氛濕空氣11501001050中性氮②1200 ~ 10501250~11501150 ~ 1000氣體氬140001250120放熱式氣氛10C0 + 15H2 +5CO2 + 70N21150 .吸熱式氣20C0 +40H2 +40N210001100⑧還原400①氨分解氣75H2 +25N2真空1.33x10 Pa900①APM最高使用溫度1425 C②上限值適用于預(yù)氧化材料③在滲碳?xì)夥罩挟a(chǎn)生綠色腐爛需用Kanthal AF或Nikrothal 70④Nikrothal 70為1250 C,25C-20N的研究現(xiàn)狀”一文。文章首先列述了Lakhtin 學(xué)派的4C固體滲碳250h傳統(tǒng)理論,認(rèn)為在NH3中滲氮的氮勢主要取決于氨的分解度。這種氮勢( π、)可以直接用氨分解反應(yīng)的平.250-35N衡常數(shù)來表征,即附2.0-, 26C-35NLW/25C+4EN-W_CoπN=PNn;/Pi21.0-而鋼滲氮的主要表面化學(xué)反應(yīng)是氮在a固溶體中的=APM溶解95o00 1050 1100溫度/C圖19各種合 金滲碳速率和溫度的關(guān)系Fe+NH3-→Fe.(N)+號H2Fig. 19 Relationship between the carburizing speed of和形成各種氮化物diferent heat-resistance alloys and temperature3.4用超臨界液體 CO2清洗工件4Fe.( N)+NH3-→FesN+ H2美國GCG Technologies Ine公司開發(fā)了一種DeflexProcess清洗技術(shù)用超臨界液體CO2代替氟氯烴( CF-Fe,N+NH,- -2Fe-zN+ H2Cs )清除電子和光電產(chǎn)品上的油脂、塑料、聚合材料上鋼在分解氨氣氛中的滲氮的氮勢是氮在a相和ε的污染物、多孔金屬表面污物、機(jī)加工零件和沖壓件表相中濃度的函數(shù)面油污。其方法是將液態(tài)CO2在30 C和7550 kPa壓[ 89331π°=5.17x10° exp°T- xC\力下通入盛有零件的容器滿載污物的溶液從容器中泵出并立即膨脹成氣體,氣體經(jīng)壓縮冷凝后可重復(fù)使1045p11.12-CN1用沉積下來的切削油等污染物可收集回收利用。超臨π=2.33 x 105 exp[]x[C-5. 94xCs界態(tài)的高能溶液既不是液體,也不是氣體既具有液態(tài)式中Ci =3.01 +0. 0179T-0.154x10*2.....性質(zhì)也具有氣體的擴(kuò)散性。超臨界CO2表現(xiàn)出溶解選同時還推導(dǎo)出了氮勢和爐中氣體分壓間的關(guān)系式:擇性( Solvent Selectivity )根據(jù)壓力、溫度和混合效應(yīng)可λm(1-aX 1 +aXNH; )'P/2覆蓋從FreonII到1.1.1三氯乙烷溶劑的溶解范圍。針( λH2 +1.5λNH;Q )對污染物的選擇溶解是超臨界CO2的主要優(yōu)點(diǎn)之-。式中λNn和λn2分別為NH,和H,在混合氣體中的使用超臨界CO2清洗工件無需干燥工序工件也不會產(chǎn)體積分?jǐn)?shù),a為NH;分解度,P總為混合氣體總壓力。.生銹蝕清洗速度比真空清洗快數(shù)十倍。當(dāng)Pg=1時此式可簡化為4新傳感技術(shù)中國煤化工+a y"4.1氧探頭 OxymessMHC NMH G22003年9月在華沙召開了第九次IFHTSE的專題由此可知氨分解率愈高爐氣氮勢π、愈低。在討論會會議的主題是滲氮技術(shù)的理論和實(shí)踐”。俄520 C ,當(dāng)x=0.25時πN≥1.5而x=0.4~0.8時,羅斯的V. Syropiatov等在會上宣讀了關(guān)于氮勢控制πN≤0.3。為此,Lakhtin課題組開發(fā)了直接測量氨分《金屬熱處理》2007年第32卷第4期9解度的探頭可用于滲氮過程的氮勢連續(xù)控制其原理溫度,K。由此可知所謂氮勢新概念就是指在特定溫是利用氣體分子在熱分解過程中的電離現(xiàn)象。全自動度和特定氣相成分下鋼試樣穿透滲氮后的含氮量。按離子氣體分解度測定儀可在450~700C范圍測出此概念氮勢就概括了特定滲氮過程的復(fù)雜內(nèi)函:氣氛0.1% ~7. 0%的氮勢。由于計算過程復(fù)雜、測量結(jié)果氮濃度的潛勢、向金屬輸送氮的能力、向金屬表面?zhèn)鬏敳粔蚓_在生產(chǎn)設(shè)備中于恒溫下難以改變氨的分解氮的內(nèi)、外部阻力以及向金屬內(nèi)部輸送氮的阻力。度還由于某些參數(shù)的測量困難這種測控氮勢的方法固態(tài)電池電勢未被推廣。論文隨后著重描述了關(guān)于氮勢的新概念及其新的測定方法。作者認(rèn)為傳統(tǒng)的氮勢概念只能表示+★.1040mV氨分解率的高低不能表征氣體-金屬界面上的物質(zhì)相rHr+1010mV城2互交換行為真實(shí)的氮勢應(yīng)該是爐氣和金屬界面處于995 mV平衡狀態(tài)時的鋼件表面實(shí)際含氮量。論文作者用含碳10時間/h(質(zhì)量分?jǐn)?shù),下同)為0. 08%、1. 2%和3.0%厚50 μm圖21鋼箔在 550 C滲碳時的動力學(xué)曲線的鋼箔在500 C、520 C、550 C和570 C滲氮1、2、3、Fig.21 The dynamic curves of iron foil nitriding at 550 C4、6、8、12、14和16h后,用真空熔化法測定鋼箔中的4.2用于滲 氮和氮碳共滲氮勢測控的TiO2氧探頭氮。結(jié)果發(fā)現(xiàn)經(jīng)過4h的滲氮即可使鋼箔的含氮量德國不來梅材料研究所( Stiftmg Institut fir Werk-和爐氣達(dá)到平衡并完全滲透。用這種方法可直接測stofftechnik ,IWT )和Robert Bosch GmbH公司聯(lián)合發(fā)表出氣氛的氮勢。為了連續(xù)測控爐氣氮勢采用了經(jīng)穩(wěn)定的關(guān)于控制滲氮和氮碳共滲過程的半導(dǎo)體氣體傳感器化處理的ZrO2固態(tài)電池原理的探頭利用爐氣氧分壓和論文闡述了傳感器的作用原理和功能見圖22)用溶氨完全分解時的氧分壓差來測出氨和氫分壓的比值也膠~凝膠工藝沉積Ti02層的方法和步驟以及用其測量就是傳統(tǒng)認(rèn)識的氮勢。由于一般氧探頭使用表面鍍鉑氧勢和氮勢的效果。作為電極鉑對氨有催化分解作用會引起爐氣成分變傳感器機(jī)理:vo,CO被吸附粒子化并因鍍鉑層的高阻抗導(dǎo)致探頭在700C以下的損1.表面2.體內(nèi)壞。所以需要重新考慮電極材料。通過試驗(yàn)證明最好3.接觸點(diǎn)陣缺陷的材料是In2O,但因需高價進(jìn)口難以采用便用TiO24.晶界傳感器溫度:自由電子e代替。Ti02 可做為400 C以上固態(tài)電池電極。圖20為100-1000(陬決于材糊Oxymess的氧探頭結(jié)構(gòu)示意圖。與此同時用鋼箔在不同溫度和各種成分爐氣中的滲氮結(jié)果和用Oxymess測圖22半導(dǎo)體氣體傳感器作用機(jī)理和功能出的固態(tài)電池相應(yīng)電勢數(shù)據(jù)得出了如圖21所示的鋼箔Fig.22 The action mechanism and function of含氮量和探頭電勢間的單值、穩(wěn)定、可信賴的關(guān)系。該semiconducted gas sensor探頭在俄羅斯12個工廠使用8年效果很好。用溶膠凝膠法制備Ti0,膜的過程是采用四異丙40-12000氣體電極外陶瓷得氣體電板圓態(tài)電池NAIH醇鈦( TTIP )乙-丁醇、乙酸( HAc )乙酰丙酮( AcAc )聚乙二醇400( PEG )和蒸餾水作為前驅(qū)物質(zhì),把TTIP和乙丁醇在量杯中混合,加入AcAc作為螯合劑。TTIP和AcAc的克分子比為1:1。為使溶膠水解和穩(wěn)定化尚須加入水和HAc將混合液用水稀釋直至形成池固定管A2O3棉NC-NIA熱電偶空氣流透明液。PEG用做干燥控制添加劑( Sol A )第二種溶圖20氧探 頭Oxymess結(jié)構(gòu)示意圖膠( SolB )是在Sol A基礎(chǔ).上加入了有機(jī)粘結(jié)劑。對兩Fig. 20 Scheme of the Oxymess oxyprobe種稱做TiO2 -SA和TO2-SA-IDS的不同樣品進(jìn)行導(dǎo)電通過數(shù)學(xué)處理可以對鋼含氮量表示的氮勢作如下率測試。Ti0 SA的制備方法是在20 mm x20 mm拋的數(shù)學(xué)表達(dá):光的A中國煤化工浸涂.上T02。溶膠體10. 082x( E -797.2 )-3. 363在空氣MYHCNMHG在600c施行10minT的熱處理。涂覆和熱處理重復(fù)5 ~6次,直到形成1lgN, =1.2167mm厚的涂層。用壓合在相對表面的AISI 304不銹鋼式中N,為氮勢,wt% ;E 為氧探頭電勢,mV ;T為(相當(dāng)于0Crl8Ni9鋼)片作為電觸頭。涂覆Ti02的工《金屬熱處理》2007年第32卷第4期藝步驟見圖23 -24。調(diào)節(jié)溶膠濃度對形成優(yōu)質(zhì)和所G=A. exp( E、/KT) Po2"需厚度的膜是十分重要的。在涂覆和干燥過程中控制TO,傳感器在不同溫度下的滲氮?dú)夥罩袑?dǎo)電率氧TTIP的交聯(lián)性可形成緊密的凝膠膜。在熱處理時隨分壓的關(guān)系示于圖26。圖27為TIO,傳感器導(dǎo)電率隨溫度的升高凝膠膜發(fā)生裂解、燒結(jié)和結(jié)晶成陶瓷。溫度的變化。.I制造溶膠一賺赫-14G∞Ps;"u漫涂..一薄溶膠膜。-18 .Vab=常數(shù)“20n+凝膠-24心:莘●良好童現(xiàn)性.mz2r3善至更高-29-8。-26 ●m對于不同探頭是不一一樣的logR,/bar1barm10PaTO,廣圖23沉積和制備 Ti0,涂層的溶膠凝膠法測量結(jié)果:5歲142idaysFig. 23 Sol-gel method of depositon and preparation of圖26 TO,傳感器在不同溫度下導(dǎo)電率G與氧分壓的關(guān)系Ti02 coaing at Al2O3 sustrateFig. 26 Relaionship between the prductivity c and oxygenP電極●使用市售A,O,墊片partial pessure at diferet temperatures for TiO2 sensor●滴涂溶膠.600C熱處理●無需燒結(jié)添加劑-13傳感器:GxexplE,NKT)E-激活能-144:T8-MBE2 K-波茲曼常數(shù)傳感器墊片g-1y2-16-17TiO245um-18 0.85 eV
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