微波介電材料 電學(xué)表征方法研究 作者：陳文彬 著 出版時(shí)間：2017年版 內(nèi)容簡介 u3000u3000本書主要介紹了應(yīng)用于MIM（金屬絕緣體金屬）電容器的高介電常數(shù)的新型弛豫鐵電材料PMNT［鈮鎂酸鉛鈦酸鉛，Pb（Mg0.33Nb0.67）0.65Ti0.35O3］的電氣特性； 設(shè)計(jì)、制造和研究了一系列的圓形電容器、傳輸線路及方形電容器測(cè)試結(jié)構(gòu)，從而獲得了PMNT材料的介電性能。 本書為后續(xù)研究領(lǐng)域中的測(cè)試結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和測(cè)量技術(shù)范圍的擴(kuò)大提出了建議，展望了新型弛豫鐵電晶體材料PMNT在未來的發(fā)展和應(yīng)用前景。 本書可供微電子工程領(lǐng)域的研究機(jī)構(gòu)、學(xué)校師生以及相關(guān)領(lǐng)域的工程技術(shù)人員學(xué)習(xí)參考。 目錄 第1章 緒論 1 1.1 研究現(xiàn)狀及進(jìn)展 1 1.2 無源器件的集成 1 1.3 主要研究工作 4 第2章 電學(xué)特性表征技術(shù) 6 2.1 簡介 6 2.2 常用的介電材料特性表征技術(shù) 6 2.2.1 電容器測(cè)試法 6 2.2.2 傳輸線測(cè)試法 9 2.3 結(jié)論 16 第3章 掩膜設(shè)計(jì)和樣品制作 18 3.1 傳輸線結(jié)構(gòu) 18 3.1.1 阻抗標(biāo)準(zhǔn)基質(zhì)的測(cè)量與分析 19 3.1.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果 24 3.2 動(dòng)量仿真過程 24 3.2.1 電磁仿真 25 3.2.2 優(yōu)化結(jié)構(gòu)的電磁設(shè)計(jì) 25 3.2.3 對(duì)復(fù)雜結(jié)構(gòu)的模擬 29 3.3 其他測(cè)試結(jié)構(gòu) 32 3.3.1 圓形電容器結(jié)構(gòu) 32 3.3.2 正方形電容器結(jié)構(gòu) 32 3.3.3 輔助結(jié)構(gòu) 33 3.4 樣品的制備 34 3.4.1 參考樣品 37 3.4.2 其他合作研究院的PMNT樣品 37 3.4.3 Tyndall研究院的PMNT樣品 39 3.5 總結(jié) 43 第4章 傳輸線技術(shù) 44 4.1 引言 44 4.2 靈敏度分析和EM仿真微調(diào) 44 4.2.1 測(cè)量結(jié)果和初始值的仿真 47 4.2.2 靈敏度分析 48 4.3 建模和特性描述 54 4.3.1 特性表征過程和驗(yàn)證 54 4.3.2 PMNT特性表征 56 4.4 去嵌入測(cè)量技術(shù) 58 4.4.1 S參數(shù)的測(cè)量 58 4.4.2 去嵌入方法 60 4.4.3 結(jié)果與討論 61 4.5 結(jié)論 66 第5章 基于圓形電容器結(jié)構(gòu)的表征 67 5.1 簡介 67 5.2 CV提取技術(shù) 68 5.2.1 計(jì)算方法 68 5.2.2 測(cè)量環(huán)境對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響因素 70 5.3 S參數(shù)提取技術(shù) 79 5.4 總結(jié) 84 第6章 基于方形電容器結(jié)構(gòu)的表征 86 6.1 簡介 86 6.2 電容電壓測(cè)量技術(shù) 86 6.2.1 小間距焊盤的測(cè)量 87 6.2.2 典型距離焊盤的測(cè)量 94 6.3 PMNT的系統(tǒng)研究 99 6.3.1 電容電壓的測(cè)量 99 6.3.2 電流電壓的測(cè)量 100 6.3.3 電容頻率的測(cè)量 103 6.3.4 損耗因子頻率的測(cè)量 105 6.3.5 復(fù)阻抗頻率的測(cè)量 106 6.3.6 用于高性能MIM電容器的PMNT的適用性 107 6.4 溫度特性 111 6.5 鐵電特性 115 6.6 結(jié)論 119 第7章 總結(jié) 121 7.1 研究綜述 121 7.2 研究的新穎性 122 7.3 對(duì)未來工作的建議 122 參考文獻(xiàn) 124